1.測驗(yàn)成果127點(diǎn)VESDA時(shí)刻由40秒到260秒不等，回風(fēng)層大多數(shù)測驗(yàn)點(diǎn)能夠120秒規(guī)范要求下偵測到現(xiàn)場放煙，超越120秒之測驗(yàn)方位如圖2及圖3上灰階方塊所示，圖上向量箭頭代表放煙後偵測器作動之煙流方向。

　　2.放煙測驗(yàn)失利地址有在潔凈室區(qū)域制品及半制品庫房(Stocker)鄰近及排氣系統(tǒng)管末盲板(End-cap)鄰近。由現(xiàn)場放煙時(shí)能夠清楚發(fā)現(xiàn)煙被排氣管末盲板及庫房吸入，工程規(guī)劃時(shí)應(yīng)先鑒認(rèn)相似上述吸氣方位。必須要提示，半導(dǎo)體廠與4/5GTFT-LCD廠在Stocker規(guī)劃不同∶半導(dǎo)體廠Stocker只要潔凈室高，因而內(nèi)部正壓是把煙吹離Stocker；4/5GTFT-LCD廠由於玻璃面板大，Stocker一般規(guī)劃為筆直連通一樓回風(fēng)層及二樓潔凈室工程層，內(nèi)部正壓在一樓回風(fēng)層仍是將把煙吹離Stocker，可是二樓潔凈室層卻是把煙吸入Stocker并經(jīng)過濾鏟除，因而在Stocker鄰近測驗(yàn)不合格(超越120秒)是必定的事。

　　3.一樓回風(fēng)層及二樓潔凈室層內(nèi)部仍有一些方位測驗(yàn)不合格(超越120秒)，可是根據(jù)實(shí)測都在260秒內(nèi)作動，因而開始研判VESDA作動應(yīng)與氣流速度有關(guān)。記載一切測驗(yàn)方位之間隔、作動所需時(shí)刻、潔凈室均勻下降筆直層流速度，提出經(jīng)歷公式如下，未來希望有更多的現(xiàn)場測驗(yàn)以驗(yàn)證此經(jīng)歷式變成通用公式。

　　戒備區(qū)筆直冷盤(DryCoiler)之長度[公尺]=每小時(shí)換氣次數(shù)/3600×潔凈室高度[公尺]×電扇過濾模組覆蓋率[%]×120[秒]=均勻潔凈室下降氣流速度[公尺/秒]×120[秒]

　　於本研討中，潔凈工程VESDA檢驗(yàn)設(shè)定120秒戒備區(qū)長度，因潔凈室內(nèi)各區(qū)每小時(shí)換氣次數(shù)不同(潔凈度不同)，大約是24至35公尺。上述方程式對300mm晶圓廠及第5代TFT-LCD廠十分重要，由于在這些新廠潔凈室高度大輻添加，此外，為了節(jié)約能源筆直下降氣流速度下降，因而VESDA布點(diǎn)規(guī)劃就徹底不同於一般8寸晶圓廠或第4代TFT-LCD廠。

　　4.不可否認(rèn)仍有一些方位放煙後行為獨(dú)特，無法合理解說。可是在其鄰近再添加測驗(yàn)點(diǎn)其成果滿意檢驗(yàn)規(guī)范，關(guān)於此點(diǎn)仍需進(jìn)一步研討。試驗(yàn)中也有發(fā)現(xiàn)某些放煙方位會有二組VESDA作動，為求監(jiān)測規(guī)模樹立正確性，都以*先作動者為基本資料。

　　5.VESDA原廠規(guī)劃也經(jīng)由此研討比對及批改，不同VESDA戒備區(qū)域標(biāo)明與其VESDA相同編號。在此區(qū)域內(nèi)，假如有煙發(fā)生，根據(jù)試驗(yàn)VESDA應(yīng)能很快作動，緊迫應(yīng)變?nèi)藛T(ERT)能夠先搜索上述由試驗(yàn)找出的各監(jiān)測器有用監(jiān)測規(guī)模，而不必搜索悉數(shù)空間。

　　6.為使偵煙時(shí)刻縮短許多廠商幾乎是冷盤前方及整個(gè)夾心層下方都有布點(diǎn)，一般需求100套以上VESDA，成本約2500~3000萬臺幣。二次布點(diǎn)一般要布在夾心層下方，藉由現(xiàn)場全標(biāo)準(zhǔn)測驗(yàn)，能夠清楚知道只要潔凈室中心區(qū)域(標(biāo)明2nddesign)是需求二次布點(diǎn)規(guī)劃，而不是整個(gè)夾心層(WaffleSlab)下方都需求布點(diǎn)，如此一來可節(jié)約至少1000萬臺幣。其規(guī)劃密度根據(jù)原廠主張仍訂為每套300平方公尺。

　　7.現(xiàn)場測驗(yàn)，編號52-53及56-58之VESDA戒備區(qū)特別小，潔凈工程VESDA受環(huán)境影響功能不佳之成果或程度，目前尚不清楚，下降氣流速度應(yīng)該是重要因素之一，由本個(gè)案研討可暫時(shí)推論∶放煙方位下降氣流速度小於0.05m/s時(shí)不合格可能性極高。