防火分區和分隔：
(一)一般要求甲、乙類生產的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間最大允許占地面積，單層廠房應為3000m2，多層廠房應為2000m2。
(二)其他要求
1)防火分區之間應采用防火墻分隔。
2)丙、丁、戊類生產廠房當噴淋保護等級以嚴重危險級設置時，其防火分區可擴大一倍。
3)丁、戊生產廠房安裝自動滅火系統時，防火分區面積不限，如局部安裝自動滅火系統時，增加面積可按該局部面積的一倍計算。
4)潔凈廠房的技術夾層與其直接服務的生產區域視為同一防火分區。
5)在一個防火分區內，其潔凈生產與非潔凈生產區域之間應設置非燃燒體隔墻完整分隔。
消防設施配置：
(一)消防給水和室內消火栓潔凈廠房必須設置消防給水設施
1)潔凈室(區)的生產層及上下技術夾層(不通行的技術夾層除外)，應設置室內消火栓。
2)室內消火栓的用水量不應小于10L/s，同時使用水槍數不應少于2支，水槍充實水柱不應小于10m，每只水槍的出水量不應小于5L/s。
(二)自動滅火設備
1．自動噴水滅火系統自動噴水滅火系統已成為潔凈廠房消防系統的首選配置。
潔凈廠房內設有貴重設備、儀器的房間設置固定滅火設施時，除設置水滅火系統之外，目前較為廣泛使用的還有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等潔凈氣體滅火系統。
（三)火災自動報警系統
潔凈廠房應設置火災自動報警系統及消防聯動控制，潔凈廠房的生產層、技術夾層、機房、站房等均應設置火災報警探測器，生產區及走廊應設置手動火災報警按鈕。
(五)滅火器配置
二氧化碳滅火劑滅火后不留痕跡，不污損、腐蝕保護物品，在潔凈室內得到普遍使用。
(六)疏散標志和應急照明
潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明。在專用消防撲救口處應設置紅色應急照明燈。
