電子無塵室管理規范
目錄
0. 目錄 (Table of content)
1. 大綱(Introduction)
1.1 范圍(Scope)
1.2 目的(Purpose)
2. 引用文件(Reference document)
3. 名詞定義(Definition)
4. 無塵室管理規范程序
4.1 無塵室潔凈度等級區分及區域定義
4.1.1 面板制造
4.1.2 模組制造
4.2 無塵衣/鞋/帽穿著使用規定
4.2.1 各區無塵衣穿著規定
4.2.2 無塵衣換洗規定
4.2.3 無塵衣之破損與縫補
4.2.4 無塵衣識別系統
4.3 無塵室進入資格之取得
4.3.1 一般員工
4.3.2 高階主管
4.3.3 來賓(廠商)
4.3.4 無塵室進入資格取得之流程
4.4 無塵室進入資格之取消
4.5 無塵室資格考試
4.6 無塵室進出管制規定
4.6.1 人員之限制
4.6.2 物品之限制
4.7 進入無塵室之程序
4.7.1 人員進入無塵室之流程
4.7.2 物品進入無塵室之流程
4.7.3 儀器設備進入無塵室之流程
4.8 無塵衣穿著程序
4.8.1 連身式無塵衣穿著程序
4.9 無塵衣穿著步驟
4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟
4.10 無塵衣穿著注意事項
4.11 無塵衣穿著檢查要項
4.12 無塵室一般禁止及注意事項
4.13 來賓(廠商)進入無塵室注意事項
4.14 無塵室安全注意事項
4.15 無塵室清潔方式
5. 使用窗體(Form used)
6. 變更記錄(Change Record)
1. 大綱(Introduction)
1.1范圍(Scope)
凡進入無塵室內所有人、機器設備、物品、原物料、產品……等，均屬本規范之管制范圍。
1.2目的(Purpose)
為維持無塵室內潔凈度，管制污染源控制環境參數，特對于無塵室內之人、設備、物品、原物料等加以管制，以俾能確保無塵室內潔凈度符合產品制程之需求，并提高產品之品質。
2. 參考文件(Referenced Document)
無
3. 名詞定義(Definition)
本規范除下列所述名詞外，均依照JIS Z 8122(Contamination Control術語)。
無塵室 Particle被控制在規定值內之房間
粒子(Particle) 一般而言指0.001至1000μm之粒徑的固體或液體之物質
4.無塵室管理規范程序
4.1無塵室潔凈度等級區分及區域定義
4.1.1面板制造
A區(Class 1000級)：面板無塵室(液晶注入、壓合封口室)。
B區(Class 10 000級)：其余面板制造區域。
4.1.2 模組制造
C區(Class 1000級)： COG、貼片、組立室。
D區(Class 10 000級)：其余模組制造區域
4.2無塵衣/鞋/帽穿著使用規定
4.2.1區無塵衣穿著規定
A、B、C、D區：
1.進入或在此區內工作的人員，均須穿著Class 100級連身式無塵衣、長統式無塵鞋、戴網帽、口罩及手套。
2.來賓則穿著Class 100級來賓專用黃色無塵衣、長統式無塵鞋、戴網帽、口罩及手套。
4.2.2無塵衣換洗規定
面板后段、模組：面板注壓站、LC液晶調配人員、清洗人員無塵衣須每周清洗一次，模組COG站、貼片站、組立站無塵衣須每周清洗一次，其他站組兩周清洗一次。
4.2.3無塵衣之破損與縫補
無塵衣若有破損、拉煉損壞、松緊帶松弛、魔術粘掉落….等情況發生時，該件即應立即停止使
用，若可修補者應將其置于待修補區，若已達無法修補者則應將其報廢，領用新品使用。
4.2.4無塵衣識別系統
無塵衣及鞋只有編號, 然后依領取名單紀錄識別
4.3無塵室進入資格之取得
4.3.1 一般員工：凡經常于無塵室內工作或不定期會進入無塵室者，均應先上過『無塵室管理規范』或其它相關課程，并通過考試合格后，才具無塵室進出資格，考試合格人員由模組制造部造冊列管，然后才可向制造部領取無塵衣等相關物品。
4.3.2 高階主管：熟知并了解無塵室管理規范及其它各項相關規定后，即具無塵室進出資格。
(高階主管定義：經(副)理以上人員)
4.3.3 來賓(廠商)：應由接待部門具無塵室出入資格者，在相關人員全程陪同下才能進入無塵室。
4.3.4無塵室進入資格取得之流程：
4.4無塵室進入資格之取消
若有下列情況發生時則取消其無塵室進入資格：
¬人員離職時或留職停薪期間超過3個月者。
違反無塵室管理規范或其它各項相關規定情節重大者。
®無塵室管理規范或其它各項相關規定有大幅度之修改，而需取得重新認證時。
4.5無塵室資格考試
考前準備：考試前應由制造部統一講授 -- 無塵室管理規范及其它各項相關規定。
測驗卷：共有A、B、C、D共4份測驗卷，每份均為15題選擇題及10題是非題，每題4分，
采不倒扣方式計分。
考試時間：10分鐘。
及格分數：80分。
補考規定：第一次測驗不合格者，得經再上課后補考一次，若仍不合格者即無法取得無塵室工作
資格。
定期考核：于每年1月份作教育訓練及測驗。
4.6無塵室進出管制規定
4.6.1人員之限制
(1)公司員工：a.因職務之需要必須進入無塵室內工作者，須先上過『無塵室管理規范』及其
它無塵室相關規定之課程，并通過考試及格后，才可進入無塵室。
b.針對于面板及模組制造課，因產能急需而臨時新增之人員，需由該負責站組組長先口頭講解；且該臨時新增之契約工須于1個月內，完成無塵室相關規定之課程，并通過考試及格。
(2) 非公司員工：為維持無塵室潔凈度之要求及避免生產作業受到不必要之干擾，以確保產品
之品質，除下列情況外，均謝絕進入無塵室參觀：
¬督導單位長官或評鑒/稽核人員視察。
重要客戶或供貨商了解現場作業情況。
®儀器/設備之維修工程師或外包施工廠商。
¯本公司聘雇之顧問或專家。
(3) 非公司員工進入無塵室時，必須有接待或相關部門人員全程陪同。
(4) 來賓進入無塵室之申請程序：來賓須進入無塵室時，應由接待或相關部門人員向制造部主
管提出申請，取得核準后始可進入無塵室。
(5) 進入無塵室均須刷卡進入。
4.6.2 物品之限制
(1) 非生產或工作所需之物品一律禁止攜入無塵室。
(2) 紙類物品(非無塵紙)禁止攜入無塵室，若必須攜入時則須護貝或加塑料護套。
(3) 下列物品一律禁止攜入無塵室：
¬鉛筆、橡皮擦、修正液(修正帶)等易發塵或揮發之文具。
普通紙類、紙箱、普通筆記簿、紙制活頁夾等。
®木制物品且表面無聚乙稀等物質包覆者。
¯鐵制物品且未作防銹處理而有生銹之虞者。
°臟污或外表生銹之物品。
±保麗龍類物品。
²其它易污染環境或制造particle之物品。
(4) 物品攜入無塵室前，必須先擦拭干凈，才可帶入無塵室。
4.7進入無塵室之程序
4.7.1人員進入無塵室(CR)之流程：
4.7.2物品進入無塵室之流程：
4.7.3儀器設備進入無塵室之流程：
4.8無塵衣穿著程序
4.8.1連身式無塵衣穿著程序：
4.9無塵衣穿著步驟
4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟
(1) 戴上手套
|
(2) 戴上網帽、口罩
(3) 先確認衣服正面朝前并穿上雙袖
(4)套在頭上，露出臉部
(5)將頭部魔鬼粘扣上
(6)并扣上頸部魔鬼粘
(7)穿上褲腳
(8)將胯下拉煉由一端拉至另一端(拉煉開口不可露出，必須被長統無塵鞋蓋住)
(9)穿上無塵鞋
4.10無塵衣穿著注意事項
(1) 換下之拖鞋請整齊置于指定處所。
(2) 清洗干凈且包裝好之無塵衣/鞋/帽等，請放置于個人衣柜內。
(3) 使用中之無塵衣，應整齊吊掛于Clean Booth(HEPA)之衣架上，以維持高潔凈度。
(4) 換穿無塵衣過程中，應盡量避免無塵衣接觸地面。
(5) 戴網帽時應盡量將頭發都包覆在內，勿使其外露。
(6) 無塵衣拉煉均應拉到底；扣子應扣好；魔術粘亦應粘妥。
(7) 無塵衣穿著應松緊適中，不可過松或太緊(可利用腰帶來調整松緊度)。
(8) 無塵衣若有破損時，不可繼續穿著，應修補后才可使用(若不堪修補時應報廢更換新品)。
(9) 穿無塵鞋時，應穿著襪子以維持個人衛生。
(10) 穿無塵鞋時應全腳穿入，不可踩住鞋后跟。
(11) 穿上無塵衣后，便服褲腳不可外露應包覆在無塵衣內。
(12) 口罩應遮住口、鼻不使其外露。
(13) 手套應完全塞入無塵衣之袖口內。
(14) 穿著無塵衣或戴口罩、手套時，不可邊走邊穿戴。
(15) 不可隨意穿著他人之無塵衣、鞋。
(16) 無塵室內不可打瞌睡。
(17) 原則上網帽、口罩、手套之更換頻率如下：
網帽每周更換一次，若臟污或破損時則立即更換。
口罩每2天更換一次，若臟污或破損時則立即更換。
手套每次進出更換一次，若臟污或破損時則立即更換。
4.11無塵衣穿著檢查要項
穿好無塵衣進入Air Shower前，應于鏡子前檢查下列各項：
(1) 頭發、網帽不可外露。
(2) 口、鼻不可外露。
(3) 褲腳不可外露。
(4) 無塵衣、鞋不可破損或臟污。
(5) 無塵衣、鞋之拉煉、扣子、魔術粘等，應拉好不可松脫。
(6) 手套端緣不可外露。
4.12無塵室一般禁止及注意事項
(1) 未取得無塵室進入資格者，不得進入無塵室。
(2) 嚴禁裸手接觸產品。
(3) 嚴禁坐臥桌面、腳踏板、地板、垃圾桶、護欄，以及斜靠機臺或儲存柜。
(4) 應隨時注意各項公告及標語。
(5) 應主動相互支持，但不可單獨操作未認證合格之機臺。
(6) 大家應隨時取締、糾正不合規定之人員、物品、標示等，并通知相關主管。
(7) 應隨時注意頭發、口、鼻不可外露。
(8) 不可將無塵衣、帽等隨意置于地板上。
(9) 只能在更衣室內穿、脫無塵衣，不可在其它地方為之。
(10) Air Shower前后兩門不可同時開起。
(11) 無塵室內嚴禁奔跑、嬉戲、喧嘩、睡覺等。
(12) 無塵室內嚴禁吃東西或喝飲料。
(13) 無塵室內應避免多人聚集在一起，以免制造particle。
(14) 劇烈運動或流汗后，不可立即進入無塵室，需待呼吸平穩且不再流汗后，方可進入。
(15) 抽煙結束后不可馬上進入無塵。
(16) 不可將一般用紙、筆記本、紙箱、衛生紙、書籍、鉛筆、修正液、橡皮擦等非無塵用
品攜入無塵室。
(17) 嚴禁于無塵室內磨、銼、鋸，砂紙、磨料….等，亦禁止使用。
(19)無塵室內工作人員，應保持頭發、身體之清潔，并經常盥洗。
(20)進入無塵室的人員禁止使用香水、口紅、發膠及其它化妝品，若有化妝者應先卸妝后
才可進入。
(21)原物料進入無塵室，需先在外面拆箱并擦拭干凈后才可進入無塵室。
(22)不可面對產品、Cassette或機臺之chamber交談。
(23)即使已戴手套，亦須減少對產品做非必要之碰觸。
(24)無塵室內文件、半成品、物品或生產工具，非經部門主管允許，不可攜出。
(25)談話時不可拉下口罩交談。
(26)在無塵室內使用電話，宜簡短扼要，勿占線。
(27)無塵室內逃生路線，不可有障礙物阻礙逃生。
(28)無塵室內產品、化學品、Cassette、工具、文件、記錄簿……等，應放置整齊。
(29)進入Air Shower前，雙腳應先踏腳踏粘墊，將無塵鞋底之臟污去除。
(30)吹Air Shower時應站好，不可斜靠在墻面上。
(31)各Air Shower均有規定人數，不可超過所規定人數，若人數過多時應分批進入。
(32)安全門僅供緊急狀況時使用，平時嚴禁由安全門進出。
(33)無塵衣/鞋不可穿出無塵室外，靜電鞋亦不可穿出工廠外之區域。
(34)無塵室中使用的無塵紙不可臟污，回收在利用的無塵紙背面需加蓋作廢章。
4.13來賓(廠商)進入無塵室注意事項
進入無塵室前必須先申請，并取得許可，始可由相關人員陪同進入。
(1) 來賓在無塵室內活動須全程有相關人員陪同。
(2) 無塵室內不可攝影或拍照。
(3) 不可攜帶違禁品進入無塵室。
(4) 來賓進入無塵室須穿著來賓專用無塵衣。
(5) 來賓或廠商進入無塵室，未經允許不可任意操作機臺。
4.14無塵室安全注意事項
(1) 操作機臺前，必須先認證合格取得操作資格后，才可獨立操作機臺。
(2) 特殊作業請確實依照操作規范之相關規定。
(3) 油、水、化學品等液體漏灑于地面(桌面)或機臺時，應迅速清除以免發生危險。
(4) 走道應保持暢通，不可有阻礙，以免妨礙逃生信道。
(5) 無塵室內不可存放易燃品，如系工作所需則必須有安全防護措施。
(6) 機臺或無塵室中之各項安全措施，不可任意關閉或by-pass，若有損壞應迅速修復。
(7) 工作人員如發現任何危害安全之行為、物品、狀況等時，除立即采取必要措施外，亦
應盡速向主管報告。
(8) 工作中應時時注意各項安全警告標語或注意標語，并確實遵守。
(9) 急救箱、滅火器、氧氣筒及其它安全急救消防等裝備，須置于指定位置。
(10) 各類清潔液、有機溶劑、化學品等之瓶蓋，于使用后應立即蓋緊。
(11) 于無塵室內進行施工或維修時，若有登高、動火或其它特殊作業時，應先向行政管理及模組制造部主管部門取得許可并知會生產線。
(12) 應避免單獨1人于無塵室內工作。
(13) 操作雷射等高能光源時，眼睛不可直視光源，以免發生危險。
(14) 應每日檢查各項安全護具、裝備，并保持隨時可用之狀態。
4.15無塵室清潔方式
(1) 面板和模組的無塵室清潔則由現場作業人員負責
(2) 范圍包含：潔凈室地板、垃圾桶、Air-shower、更衣室等
--潔凈室地板使用無塵拖把毎天清掃一次，用水擦拭地板，毎周清潔一次
--更衣室、垃圾桶毎天清理一次
-- Air-shower用無塵布沾水擦拭四周和玻璃，毎天清理一次
--毎日例行性的清潔后，需填寫清潔記錄表
--模組制造課領取無塵布，需填寫無塵布領用紀錄&回收紀錄表
--無塵室各站組設定進入風淋門時，腳踏之粘無塵鞋墊板必須按時點檢且記錄於《粘無塵鞋墊板清潔點檢表》中
5. 使用窗體
FSQS-755/0017/C4/14/01A 來賓入無塵室申請單
FSQS-755/0017/C4/14/02A 無塵室工作人員管理名冊
FSQS-755/0017/C4/14/03A 無塵室清潔記錄表
FSQS-755/0017/C4/14/04A 無塵布領用&回收紀錄表 FSQS-755/0017/C4/14/05A 無塵衣/鞋申領單FSQS-755/0017/C4/14/06A 粘無塵鞋墊板清潔點檢表
6. 變更記錄
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版本 |
日期 |
變更頁碼 |
變更內容 |
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A1 |
2007/01/12 |
6/11 |
新增（4.8.1）Air Shower(10s) |
|
A2 |
2007/04/17 |
7/11 |
更新無塵衣穿著規范圖片 |
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A3 |
2007/07/25 |
10-11/11 |
增加表單《粘無塵鞋墊板清潔點檢表》 |
